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化学百科
基本信息
cas:5743-04-4
中文名称:乙酸镉二水合物
中文别名:二硅烷;
英文名称:Cadmium acetate dihydrate
英文别名:EINECS 216-466-5;Silicon dimer;DISILANE;disilicon;SiH2=SiH2;Silylenesilane;λ<sup>1</sup>-silanylsilicon;
分子式:C4H10CdO6
分子量:266.53
精确质量:62.00080
PSA:0.00000
LOGP:-2.36780
物化性质
外观与性状:无色气体带有一种恶臭的气味
密度:0.686 g/cm3
沸点:-14.3ºC
熔点:-132.6ºC
稳定性:Pyrophoric. Reacts violently with oxidizers and halogens. May form explosive mixtures with air.
蒸汽压:2940mmHg at 25°C
安全信息
安全说明:S16-S24-S26-S36-S37-S39
危险类别码:R17
危险品运输编码:UN 2203
危险类别:2.1
危险品标志:F; Xn
信号词:Danger
危险性描述:H220; H280; H312; H315; H319; H332; H334; H335
危险标志:GHS02, GHS04, GHS07, GHS08
危险性防范说明:P210; P261; P280; P305 + P351 + P338; P342 + P311; P410 + P403
生产方法及用途
生产方法
1.采用硅烷原料气,经流量计进入放电管,在适当温度、频率和电压下,得到含乙硅烷、甲烷和氢的混合气,将混合气在不同的冷却条件下进行吸收,除掉杂质,可得高纯乙硅烷。2.甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷,用液氮冷却回收,采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。3.采用硅烷原料气,经质量流量计进入放电管,在适当温度、频率和电压下,生成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气,混合气在不同的冷却条件下进行吸收,杂质被排出,可得高纯乙硅烷。
用途
用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多,且温度可降低200~300℃。 在离子注入中,以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强,效果明显好于用其他气体作离子源。在半导体工艺中用于外延和扩散工艺,也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。本品可用于太阳能电池生产、分子束外延和离子注入等技术。在太阳能电池生产中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多,且温度可降低200~300℃。在离子注入中,以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强,效果明显好于用其他气体作离子源。
毒性
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